三坐標測量儀是典型的機電一體化設備,它由機械系統和電子系統兩大部分組成。
機械系統:一般由三個正交的直線運動軸構成。如圖9-1所示結構中,X向導軌系統裝在工作臺上,移動橋架橫梁是Y向導軌系統,Z向導軌系統裝在中央滑架內。三個方向軸上均裝有光柵尺用以度量各軸位移值。人工驅動的手輪及機動、數控驅動的電機一般都在各軸附近。用來觸測被檢測零件表面的測頭裝在Z軸端部。
電子系統:一般由光柵計數系統、測頭信號接口和計算機等組成,用于獲得被測坐標點數據,并對數據進行處理。
工作原理
三坐標測量儀是基于坐標測量的通用化數字測量設備。它首先將各被測幾何元素的測量轉化為對這些幾何元素上一些點集坐標位置的測量,在測得這些點的坐標位置后,再根據這些點的空間坐標值,經過數學運算求出其尺寸和形位誤差。從原理上說,它可以測量任何工件的任何幾何元素的任何參數。
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